JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 期刊简介

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
英文简介:

Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.

中文简介:(来自Google、百度翻译)

真空科学与技术杂志B强调与微米和纳米结构和设备相关的处理,测量和现象。处理可以包括真空处理,等离子体处理和微光刻等,而测量是指用于理解亚微米和纳米结构和器件的物理和化学的广泛的材料和器件表征方法。

期刊ISSN
1071-1023
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通讯地址
A V S AMER INST PHYSICS, STE 1 NO 1, 2 HUNTINGTON QUADRANGLE, MELVILLE, USA, NY, 11747-4502
偏重的研究方向(学科)
工程技术-工程:电子与电气
出版周期
Bimonthly
出版年份
1991
出版国家/地区
UNITED STATES
是否OA
No
SCI期刊coverage
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NCBI查询
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工程技术
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